超純水對芯片企業(yè)有多重要？
發(fā)布時(shí)間：2022-11-22
閱讀：2803次
發(fā)布者：本站
你知道生產(chǎn)芯片的企業(yè)一天要用多少超純水嗎？據了解臺積電三納米工廠(chǎng)一天用水量高達十三萬(wàn)噸。
芯片生產(chǎn)的過(guò)程中有一個(gè)非常重要的步驟，需要利用純水沖洗，而這個(gè)純水的來(lái)源就是凈化而來(lái)的，因此需要消耗大量的水資源。而越是工藝制程好的芯片，所需消耗的水資源就越多。
對于這個(gè)沖洗的環(huán)節，我們不得不提到它的用水標準。普通的自來(lái)水在芯片沖洗過(guò)程中應用是絕對不可以的，我們需要用到的是超純水。超純水是指電阻率達到18 MΩ*cm(25℃)的水。
由于芯片生產(chǎn)需要用到大量的超純水，超純水的制備又成為了關(guān)鍵問(wèn)題。超純水設備能夠連續穩定地制備高質(zhì)量的超純水，不會(huì )因樹(shù)脂再生而停止運行。
